ディスペンサーコントローラー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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