ディスペンサーコントローラー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. RF電源　RFPP　RF10S
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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