株式会社未来産業技術研究所
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品名:ディスペンサーロボット メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:SHOTMASTER 300DSs制御軸数:3軸 / XY動作範囲:3…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
RF電源 RFPP RF10S
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …