ディスペンサーコントローラー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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