ディスペンサーコントローラー

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  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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