ディスペンサーコントローラー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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