ディスペンサーコントローラー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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