ディスペンサーコントローラー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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