ディスペンサーコントローラー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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