ディスペンサーコントローラー

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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