ディスペンサーコントローラー

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
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