ディスペンサーコントローラー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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