ディスペンサーコントローラー

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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