ディスペンサーコントローラー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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