ディスペンサーコントローラー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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