ディスペンサーコントローラー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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