ディスペンサーコントローラー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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