ディスペンサーコントローラー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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