ディスペンサーコントローラー

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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