ディスペンサーコントローラー

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
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    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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