ディスペンサーコントローラー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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