ディスペンサーコントローラー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年6月
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