ディスペンサーコントローラー

  1. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年6月
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