ディスペンサーコントローラー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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