ディスペンサーコントローラー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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