ディスペンサーコントローラー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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