ディスペンサーコントローラー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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