ディスペンサーコントローラー

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    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

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  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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