ディスペンサーコントローラー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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