ディスペンサーコントローラー

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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