ディスペンサーコントローラー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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