イオンコーター

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  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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