イオンコーター

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  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

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  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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