真空装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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