環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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