環境試験機・乾燥機オーブン

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年5月
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