環境試験機・乾燥機オーブン

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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