電気計測器・電気部品

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年2月
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