電気計測器・電気部品

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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