電気計測器・電気部品

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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