電気計測器・電気部品

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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