電気計測器・電気部品

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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