電気計測器・電気部品

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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