電気計測器・電気部品

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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