真空装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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