クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2025年7月
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