クリーン環境機器

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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