その他の産業機械

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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