X線分析装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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