X線分析装置

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  4. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

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  8. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  9. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  10. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

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