X線分析装置

  1. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  2. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  5. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  6. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  9. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  5. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  6. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  8. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  9. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

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