X線分析装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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