X線分析装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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