X線分析装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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