X線分析装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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