X線分析装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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