X線分析装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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