X線分析装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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