X線分析装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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