X線分析装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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