X線分析装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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