X線分析装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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