X線分析装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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