X線分析装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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