X線分析装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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