X線分析装置

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  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

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  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

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  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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