ターボ分子ポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年4月
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