形状測定装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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