形状測定装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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