株式会社未来産業技術研究所
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表面性試験機 HEIDON - 新藤科学摩擦試験/摩耗試験/引掻試験/粘着測定静摩擦-動摩擦測定/表面引掻き硬さ測定べた付き測…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J