形状測定装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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