形状測定装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年2月
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