形状測定装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年5月
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