形状測定装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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