形状測定装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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