形状測定装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  1. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年8月
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