形状測定装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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