形状測定装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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