形状測定装置

  1. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  2. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  3. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  10. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  1. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  2. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  6. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  7. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  8. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  9. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

2026年4月
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