形状測定装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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