形状測定装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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