形状測定装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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