形状測定装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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