形状測定装置

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  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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