形状測定装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031