形状測定装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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