形状測定装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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