株式会社未来産業技術研究所
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表面性試験機 HEIDON - 新藤科学摩擦試験/摩耗試験/引掻試験/粘着測定静摩擦-動摩擦測定/表面引掻き硬さ測定べた付き測…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM