形状測定装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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