形状測定装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年6月
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