形状測定装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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