形状測定装置

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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