形状測定装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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