形状測定装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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