形状測定装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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