形状測定装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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