形状測定装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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