形状測定装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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