形状測定装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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