形状測定装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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