形状測定装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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