形状測定装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年6月
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