形状測定装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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