形状測定装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. RF電源　RFPP　RF10S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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