形状測定装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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