形状測定装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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