形状測定装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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