形状測定装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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