形状測定装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年5月
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