形状測定装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
2026年6月
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