株式会社未来産業技術研究所
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表面性試験機 HEIDON - 新藤科学摩擦試験/摩耗試験/引掻試験/粘着測定静摩擦-動摩擦測定/表面引掻き硬さ測定べた付き測…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
プラズマクリーナー サムコ PC-300
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300