形状測定装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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