形状測定装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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