株式会社未来産業技術研究所
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表面性試験機 HEIDON - 新藤科学摩擦試験/摩耗試験/引掻試験/粘着測定静摩擦-動摩擦測定/表面引掻き硬さ測定べた付き測…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600