形状測定装置

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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