形状測定装置

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. RF電源　RFPP　RF10S
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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