形状測定装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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