形状測定装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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