形状測定装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年5月
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