形状測定装置

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年6月
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