形状測定装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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