形状測定装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年1月
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