形状測定装置
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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