形状測定装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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