形状測定装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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