形状測定装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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