形状測定装置

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  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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