形状測定装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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