形状測定装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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