形状測定装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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