形状測定装置

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  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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