形状測定装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年12月
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