形状測定装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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