形状測定装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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