形状測定装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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