形状測定装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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