形状測定装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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