形状測定装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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