形状測定装置

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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