形状測定装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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