形状測定装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年11月
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