形状測定装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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