形状測定装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年1月
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