形状測定装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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