形状測定装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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