形状測定装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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