形状測定装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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