株式会社未来産業技術研究所
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表面性試験機 HEIDON - 新藤科学摩擦試験/摩耗試験/引掻試験/粘着測定静摩擦-動摩擦測定/表面引掻き硬さ測定べた付き測…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
クイックコーター サンユー電子 SC-701
プラズマクリーナー サムコ PC-300