形状測定装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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