形状測定装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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