形状測定装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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