形状測定装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  2. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  3. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

  4. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  7. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  8. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  9. インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  1. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  2. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

  3. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  4. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  6. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  7. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  8. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  9. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

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