形状測定装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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