形状測定装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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