形状測定装置

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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