形状測定装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2025年6月
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