形状測定装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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