形状測定装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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