形状測定装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
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