形状測定装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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