形状測定装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031