形状測定装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
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