形状測定装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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