形状測定装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年11月
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