形状測定装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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