形状測定装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年11月
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