形状測定装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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