形状測定装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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