振とう機

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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