振とう機
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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