振とう機

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  3. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

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  6. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  8. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  9. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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