振とう機

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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