振とう機

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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