振とう機

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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