振とう機

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  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

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  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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