振とう機

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年4月
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