振とう機

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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