振とう機
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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