振とう機

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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