振とう機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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