振とう機

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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