振とう機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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