振とう機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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