振とう機

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  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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