振とう機
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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ダイサー ディスコ DAD522
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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