振とう機

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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