振とう機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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