振とう機

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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