振とう機

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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