振とう機

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  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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