振とう機

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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