振とう機

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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