振とう機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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