振とう機
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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