半導体ウェハー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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