株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …