株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…