スクリーン印刷機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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