スクリーン印刷機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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