株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2