株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…