スクリーン印刷機

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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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