スクリーン印刷機

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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