スクリーン印刷機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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