株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スピンコーター ミカサ製 1H-360S