スクリーン印刷機

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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