株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS