スクリーン印刷機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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