株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…