株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B