株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
スピンコーター ミカサ製 1H-360S