株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
プラズマクリーナー サムコ PC-300
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]