株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 アルバック VPC-410