株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:昭和科学 型式:S-1300WV両面型 機器寸法:W1300×D750×H1780 0.3μm 99.99%以上 ISOクラス5(Fed.Std.Class100)…
スクリーン印刷機、ミナミ、MK-Mark II
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z