スクリーン印刷機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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