スクリーン印刷機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年5月
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