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  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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