パルスレーザー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年6月
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