パルスレーザー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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