パルスレーザー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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