パルスレーザー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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