パルスレーザー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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