パルスレーザー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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