パルスレーザー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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