パルスレーザー

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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