パルスレーザー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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