パルスレーザー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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