パルスレーザー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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