パルスレーザー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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