パルスレーザー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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