パルスレーザー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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