パルスレーザー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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