パルスレーザー

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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