パルスレーザー

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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