パルスレーザー

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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