パルスレーザー

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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