パルスレーザー

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  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

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  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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