パルスレーザー

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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