パルスレーザー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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