パルスレーザー

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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