パルスレーザー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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