パルスレーザー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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