パルスレーザー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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