パルスレーザー

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  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

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  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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