パルスレーザー

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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