パルスレーザー

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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