パルスレーザー

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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