パルスレーザー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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