パルスレーザー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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