パルスレーザー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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