パルスレーザー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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