パルスレーザー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年5月
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