パルスレーザー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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