パルスレーザー

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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