パルスレーザー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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