パルスレーザー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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