パルスレーザー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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