パルスレーザー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年6月
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