パルスレーザー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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