パルスレーザー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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