パルスレーザー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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