保護膜コーティング

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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