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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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