パーツフィーダー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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