パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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