パーツフィーダー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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