パーツフィーダー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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