パーツフィーダー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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