パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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