パーツフィーダー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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