パーツフィーダー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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