パーツフィーダー

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
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