パーツフィーダー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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