パーツフィーダー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
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