パーツフィーダー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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