パーツフィーダー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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