パーツフィーダー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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