パーツフィーダー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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