パーツフィーダー

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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