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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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