パーツフィーダー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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