パーツフィーダー

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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