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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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