パーツフィーダー

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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