パーツフィーダー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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