パーツフィーダー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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