パーツフィーダー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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