パーツフィーダー

  1. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  2. 光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…

  3. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  4. 金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]

  5. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  8. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  9. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  10. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  1. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  3. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  4. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  5. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

  6. 複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…

  7. ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…

  8. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  10. 連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A

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