パーツフィーダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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