パーツフィーダー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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