パーツフィーダー

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年5月
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