パーツフィーダー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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