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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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