パーツフィーダー

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. RF電源　RFPP　RF20S
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年6月
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