パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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