パーツフィーダー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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