パーツフィーダー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年11月
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