パーツフィーダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031