パーツフィーダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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