パーツフィーダー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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