パーツフィーダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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