パーツフィーダー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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