パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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