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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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