パーツフィーダー
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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