パーツフィーダー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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