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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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