パーツフィーダー

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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