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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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