パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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