パーツフィーダー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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