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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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