パーツフィーダー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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