パーツフィーダー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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