パーツフィーダー

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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