パーツフィーダー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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