パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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