パーツフィーダー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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