パーツフィーダー

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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