パーツフィーダー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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