パーツフィーダー

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年6月
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