パーツフィーダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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