パーツフィーダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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