パーツフィーダー

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  4. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  7. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  8. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  10. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  7. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  8. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

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