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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A0…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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4槽式超音波洗浄装置 USメック U29-51-Y – […
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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