パーツフィーダー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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