パーツフィーダー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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