パーツフィーダー

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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