パーツフィーダー

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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