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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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