パーツフィーダー

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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