パーツフィーダー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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