パーツフィーダー
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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