パーツフィーダー

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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