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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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