パーツフィーダー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年6月
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