パナソニック

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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