パナソニック

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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