パナソニック

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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