パナソニック

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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