パナソニック

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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