パナソニック

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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