パナソニック

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  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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