パナソニック
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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