パナソニック

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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