パナソニック

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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