パナソニック

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  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

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