パナソニック
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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