パナソニック

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  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  8. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  1. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600

  2. スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…

  3. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  6. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  7. プラズマクリーナー サムコ PC-300

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  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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