パナソニック

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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