パナソニック

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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