株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:パナソニック製(Panasonic) 型式:LP-410TU印字レーザー:CO2レーザー/クラス4 レーザー製品 ガイドレーザー…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100