パナソニック

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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