株式会社未来産業技術研究所
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
プラズマクリーナー サムコ PC-300
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]