金型温調器

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  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

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  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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