金型温調器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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