金型温調器

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年6月
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