金型温調器

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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