金型温調器

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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