金型温調器

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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