金型温調器

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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