金型温調器

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年5月
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