金型温調器

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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