金型温調器

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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