金型温調器

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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