金型温調器

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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