金型温調器

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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