金型温調器

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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