金型温調器

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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