金型温調器

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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