金型温調器

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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