金型温調器

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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