金型温調器

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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