金型温調器

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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