金型温調器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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