金型温調器

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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