金型温調器

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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