樹脂ローダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年1月
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