樹脂ローダー

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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