樹脂ローダー

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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