樹脂ローダー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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