樹脂ローダー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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