樹脂ローダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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