樹脂ローダー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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