樹脂ローダー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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