樹脂ローダー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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