樹脂ローダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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