樹脂ローダー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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