樹脂ローダー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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