樹脂ローダー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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