樹脂ローダー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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