株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…