樹脂ローダー

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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