樹脂ローダー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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