樹脂ローダー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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