樹脂ローダー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年11月
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