樹脂ローダー

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  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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