樹脂ローダー

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  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

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  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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