樹脂ローダー

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  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年5月
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