樹脂ローダー

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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