樹脂ローダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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