樹脂ローダー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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