樹脂ローダー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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