株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 アルバック VPC-410