樹脂ローダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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