樹脂ローダー

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  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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