樹脂ローダー

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  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
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