株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…