株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
パルスユニット アルバック A2KH-25
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
RF電源 RFPP RF10S
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020