株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03