樹脂ローダー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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