樹脂ローダー

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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