樹脂ローダー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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