樹脂ローダー

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  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

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  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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