樹脂ローダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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