樹脂ローダー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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