株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…