株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM