樹脂ローダー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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