樹脂ローダー

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  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

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  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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