樹脂ローダー

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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