樹脂ローダー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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