樹脂ローダー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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