樹脂ローダー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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