樹脂ローダー

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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