樹脂ローダー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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