樹脂ローダー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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