樹脂ローダー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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