樹脂ローダー

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年2月
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