株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …