樹脂ローダー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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