樹脂ローダー

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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