樹脂ローダー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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