樹脂ローダー

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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