樹脂ローダー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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