株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…