樹脂ローダー

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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