樹脂ローダー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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