樹脂ローダー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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