樹脂ローダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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