株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:カワタ製 型式:TW-75LDJUST THERMO 最高温度:95℃ / ヒーター容量:3kW 媒体ポンプ出力:0.15/0.25kW…
メーカー:カワタ製 型式:TWF-05006HHDNJUST THERMO 最高温度:160℃ / ヒーター容量:6kW 媒体ポンプ出力:1.0/…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…