樹脂ローダー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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