液体窒素自動供給装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  5. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2024年10月
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