液体窒素自動供給装置

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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