レーザー発振器

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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