レーザー顕微鏡

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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