レーザー顕微鏡

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  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

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  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

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  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年6月
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