レーザー顕微鏡

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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