レーザー顕微鏡

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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