レーザー顕微鏡

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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