レーザー顕微鏡

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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