レーザー顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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