レーザー顕微鏡

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
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