レーザー顕微鏡

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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