レーザー顕微鏡

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728