レーザー顕微鏡

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  7. イオンコーター・日立・E-1010

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  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  2. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

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  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  4. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  7. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  9. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  10. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

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