レーザー顕微鏡

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  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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