レーザー顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年5月
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