レーザー顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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