レーザー顕微鏡

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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