レーザー顕微鏡

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年5月
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