レーザー顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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