レーザー顕微鏡

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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