レーザー顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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