レーザー顕微鏡

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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