レーザー顕微鏡

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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