レーザー顕微鏡

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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