レーザー顕微鏡

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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