レーザー顕微鏡

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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