レーザー顕微鏡

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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