レーザー顕微鏡

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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