レーザー顕微鏡

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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