レーザー顕微鏡

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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