レーザー顕微鏡

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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