レーザー顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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