レーザー顕微鏡

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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