レーザー顕微鏡

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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