レーザー顕微鏡

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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