レーザー顕微鏡

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  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
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