レーザー顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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