レーザー顕微鏡

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  3. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  4. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  5. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. ダイサー ディスコ DAD522

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  9. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  10. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  1. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  2. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  4. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  7. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

  9. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  10. パルスユニット アルバック A2KH-25

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