レーザー顕微鏡

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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