レーザー顕微鏡

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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