レーザー顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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