レーザー顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 自動粉体抵抗測定システム　日東精工　MCP-PD600（PD…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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