レーザー顕微鏡

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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