レーザー顕微鏡

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年5月
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