射出成形機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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