グローブボックス

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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