グローブボックス

  1. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  3. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  4. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  5. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  6. 光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…

  7. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  8. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  9. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  10. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  5. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  6. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  8. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

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