電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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