電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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