電子線マイクロアナライザー(EPMA)

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    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  2. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  3. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  4. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  3. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  5. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  6. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  7. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

    チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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