電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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