電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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