電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック製　SH-641-[M240904A08]
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2024年12月
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