電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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