電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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