電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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