電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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