電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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