電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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