電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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