電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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