電子線マイクロアナライザー(EPMA)

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  2. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  3. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  4. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  6. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  7. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  8. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  9. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  1. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  2. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  3. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  4. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  5. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  6. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  8. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

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