電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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