電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年6月
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