電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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