電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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