電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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