電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

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  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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