電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

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  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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