電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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