電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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