電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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