電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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