電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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