電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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