電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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