電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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