電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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