電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年2月
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