電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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