電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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