電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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