電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年6月
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