電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年11月
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