電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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