電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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