電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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