電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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