電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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