電子線マイクロアナライザー(EPMA)

  1. 金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]

  2. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  7. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  10. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  1. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  2. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  3. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  4. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

2026年3月
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