電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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