電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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