電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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