電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  9. イオンコーター・日立・E-1010

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  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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