電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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