電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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