電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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