電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

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