電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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