電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年1月
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