電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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