電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
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