電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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