電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年5月
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