電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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