電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年4月
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