電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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