電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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