電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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