電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年2月
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