電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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