電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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