電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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