電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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