電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年6月
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