電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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