電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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