電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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