電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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