電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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