電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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