電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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