電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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