電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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