電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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