電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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