電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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