電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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