電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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