電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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