電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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