電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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