電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年4月
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