電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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