電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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