電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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