電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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