電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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