電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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