電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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