電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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