電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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