電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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