電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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