電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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