電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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