電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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