電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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