電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930