電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年6月
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