電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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