電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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