電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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