電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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