電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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