電子線マイクロアナライザー(EPMA)

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  1. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  2. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

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  5. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  7. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  8. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  9. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  10. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

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