電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年11月
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