電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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