電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
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