電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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