電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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