電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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