電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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