電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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