電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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