電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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