電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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