電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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