電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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