電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年2月
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