電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
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