電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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