電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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