電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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