電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年7月
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