電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年11月
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