電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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