電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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