電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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