電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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