電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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