電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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