電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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