電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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