電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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