電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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