電子線マイクロアナライザー（EPMA）

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  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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