EMC試験機

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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