EMC試験機

  1. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年7月
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