ドライポンプ

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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