樹脂ホッパー

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  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

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  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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