デジタルフォースゲージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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