デジタルフォースゲージ

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年2月
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