デジタルフォースゲージ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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