デジタルフォースゲージ

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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