デジタルフォースゲージ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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