デジタルフォースゲージ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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