デジタルフォースゲージ

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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