デジタルフォースゲージ

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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