デジタルフォースゲージ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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