デジタルフォースゲージ

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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