デジタルフォースゲージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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