デジタルフォースゲージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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