デジタルフォースゲージ

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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