デジタルフォースゲージ

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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