デジタルフォースゲージ

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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