デジタルフォースゲージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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