デジタルフォースゲージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年6月
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