デジタルフォースゲージ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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