デジタルフォースゲージ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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