デジタルフォースゲージ

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  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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