デジタルフォースゲージ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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