デジタルフォースゲージ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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