デジタルフォースゲージ

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年6月
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