CO2インキュベーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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