CO2インキュベーター

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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