CO2インキュベーター

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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