CO2インキュベーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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