CO2インキュベーター

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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