CO2インキュベーター

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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