CO2インキュベーター

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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