CO2インキュベーター

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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