CO2インキュベーター

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年1月
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