CO2インキュベーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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