CO2インキュベーター

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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