CO2インキュベーター

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  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

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  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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