CO2インキュベーター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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