CO2インキュベーター

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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