CO2インキュベーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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