CO2インキュベーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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