CO2インキュベーター

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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