CO2インキュベーター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年2月
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