CO2インキュベーター

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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