CO2インキュベーター

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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