CO2インキュベーター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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