CO2インキュベーター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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