CO2インキュベーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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