CO2インキュベーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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