CO2インキュベーター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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