CO2インキュベーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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