CO2インキュベーター

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  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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