CO2インキュベーター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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