CO2インキュベーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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