CO2インキュベーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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