CO2インキュベーター

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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