CO2インキュベーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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