CO2インキュベーター

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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