CO2インキュベーター

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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