CO2インキュベーター

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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