CO2インキュベーター

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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