CO2インキュベーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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