CO2インキュベーター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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