CO2インキュベーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. RF電源　RFPP　RF10S
2026年7月
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