CO2インキュベーター
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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