CO2インキュベーター

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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