CO2インキュベーター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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