CO2インキュベーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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