CMP装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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