CMP装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年8月
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