CMP装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年4月
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