CMP装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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