CMP装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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