CMP装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年2月
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