クリーンユニット

  1. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年7月
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