クリーンユニット

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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