除振台

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
2026年9月
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