除振台

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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