除振台

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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