表面分析装置
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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