表面分析装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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