株式会社未来産業技術研究所
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レーザー変位計(セット品)センサー/コントローラーメーカー:キーエンス(KEYENCE)型式:LK-H050/LK-G5000高さ・厚み測…
反射分光膜厚計 多層膜測定装置 顕微膜厚計メーカー:大塚電子型式:FE-3000対応波長域:190nm~1600nm顕微を用いた微小領…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110