膜厚計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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