株式会社未来産業技術研究所
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レーザー変位計(セット品)センサー/コントローラーメーカー:キーエンス(KEYENCE)型式:LK-H050/LK-G5000高さ・厚み測…
反射分光膜厚計 多層膜測定装置 顕微膜厚計メーカー:大塚電子型式:FE-3000対応波長域:190nm~1600nm顕微を用いた微小領…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…