粗さ計

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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