粗さ計
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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