粒子径分布測定装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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