粒子径分布測定装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年9月
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