粉体抵抗測定システム

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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