水冷チラー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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