東京精密

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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