東京精密
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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