微細転写装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック製　SH-641-[M240904A08]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2024年11月
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