微細転写装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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