微細転写装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2025年10月
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