微細転写装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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