微細転写装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  10. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年4月
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