微細転写装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年8月
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